<button id="3ny0o"></button><form id="3ny0o"></form>
      1. <sub id="3ny0o"></sub>
            當前位置 >>  首頁 >> 科研工作 >> 科研動態

          科研動態

          國家自然科學基金國家重大科研儀器研制項目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”通過驗收

          稿件來源:科技處 杜佳、設備中心 李楠 發布時間:2021-06-23

            68日至9日,國家自然科學基金國家重大科研儀器研制項目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”驗收會在微電子所召開?;鹞敝魅侮懡ㄈA,基金委信息科學部主任郝躍、常務副主任張兆田、副主任何杰,中科院副院長李樹深,條財局副局長曹凝,微電子所黨委書記、副所長(主持工作)戴博偉,微電子所副所長王文武,黨委副書記、紀委書記趙志剛,中國科學院江風益院士、吳德馨院士、劉明院士、張躍院士、彭練矛院士及項目組成員共80余人參加會議。 

            該項目由微電子所牽頭承擔。項目組提出并發明了電場調控原子層沉積技術(E-PEALD),率先實現了RHEED原位實時原子層沉積材料的動態測量與分析,研發出晶圓級MoS2二維材料,制備了MoS2晶體管及邏輯電路,完成了低溫石墨烯制備及納米修飾,實現了國際領先水平的碳基彈道輸運晶體管。為北方華創公司提供ALD原理及關鍵腔室設計和制備,為解決集成電路高K介質制備等難題提供了關鍵技術支撐;相關技術形成了ALD品牌產品,銷售200余臺,支持了中微子探測等多項關鍵重大科學研究;促進了北京碳基集成電路研究院建設。 

            驗收專家組由22位技術、財務、檔案專家組成,江風益院士任組長。驗收會上,專家組聽取了項目負責人夏洋研究員的結題匯報、監理組監理情況匯報、儀器測試報告、財務驗收意見、檔案驗收意見,就相關問題進行了質詢和討論,現場考察了研制儀器設備運行情況。 

            驗收專家組一致認為,該項目完成了資助項目計劃書規定的全部任務,實現了儀器的全部技術指標,達到了預期目標;研制工作取得了豐碩的成果,攻克了電場調控原子層沉積二維材料生長、器件制備和原位分析等關鍵技術,碳基材料、MoS2等二維材料及器件指標達到國際領先水平;儀器整機達到國際先進水平,具有獨創性。 

           

          基金委副主任陸建華講話


          項目負責人夏洋做總結報告


          專家組現場考察

          與會人員合影 

          附件:
          被窝影院午夜看片爽爽软件 亚洲欧洲国产精品香蕉网| 国产一区第10页| 韩国精品一区二区在线观看| 免费观看女人与狥交| 高清视频新国产| 久久中文字幕免费高清| 图片区小说区迷情校园| 国产极品美女高潮无套| 欧美色八区在线视频| 爆乳无码系列肉感在线播放|