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          通知公告

          中國科學院微電子研究所三年期 JBX 6300FS電子束光刻系統維修保養服務項目

          稿件來源: 發布時間:2021-04-23

            一、項目名稱 

            20210601-20240531 三年期 JBX 6300FS電子束光刻系統維修保養服務項目。 

            二、單一來源采購理由說明 

            為滿足國家重大科技攻關項目中主要特征尺寸均在亞50納米至亞10納米的器件和電路研究的需求,微電子所引進了一套日本JEOL公司的JBX-6300FS納米直寫電子束光刻系統。該系統采用熱場發射、100KV加速電壓、最小電子束束斑為2~3納米,極限加工能力為5~10納米。由于該JBX 6300FS納米電子束光刻系統是目前國際上精度最高的納米加工技術裝備,每年都需要進行電子光學系統的維護、保養和更換電子槍(即電子束發射源,俗稱燈絲)。 

            JBX 6300FS納米電子束光刻系統是非常精密的大型儀器設備,世界上僅有少數幾家能夠生產,而且所生產的納米電子束光刻系統結構和配置都不一樣,沒有互換性,所有這些廠家的電子束光刻系統的維護、保養和更換電子槍的服務只能由原廠指定的專門維修服務公司承接,其它任何有能力生產電子束光刻系統的廠家也不可能承接別的廠家所生產的電子束光刻設備的維修業務,所以納米直寫電子束光刻系統的維護、保養和更換電子槍等服務項目只能采用單一來源采購方式。 

            JBX 6300FS納米電子束光刻系統制造商為:JEOL Ltd.(日本電子),其在中國區銷售與售后服務公司設在上海,服務公司名稱:捷伊歐半導體貿易(上海)有限公司。 

            三、該項目擬從捷伊歐半導體貿易(上海)有限公司采購。 

            四、征求意見期限從2021425日至2021429日止。 

            本項目公示期為2021425日至2021429日。有關單位和個人如對公示內容有異議,請在202142917:00(北京時間)之前以實名書面(包括聯系人、地址、聯系電話)形式反饋至中國科學院微電子研究所質量處,地址:北京朝陽區北土城西路3號,郵編:100029,聯系電話:82995527。 

            

           

                                                                                                                                   中國科學院微電子研究所 

                                                                                                                                          2021423

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